第187章 考察日 (第2/3页)

化硅。”沈副司长说。

    一行人穿过厂区，来到碳化硅研发中心。

    这里比钠电车间要安静得多。无尘服、风淋室，规矩森严。

    陶安然和周德明正在监控室里盯着十台外延炉的运行参数。

    陈启带着调研组换好防静电服，走进了观察走廊。

    “陶工。周总监。”陈启通过对讲机喊了一声。

    陶安然，看到玻璃墙外的调研组。她放下手里的记录本，走了出来。

    “各位领导。这是我们的碳化硅量产测试线。”陶安然的语气充满了自信。

    王研究员直接走到玻璃墙前，趴在玻璃上往里看。

    “这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。

    “是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。

    “华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”

    陶安然没等他继续说，直接怼了回去。

    “王老。设备是死的，人是活的。”

    她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。

    “您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”

    王研究员凑近屏幕。

    “径向温度梯度。正负0.3度？！”

    他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。

    “这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”

    “我们做到了。”周德明从车间里走出来，手里拿着一个黑色的恒温箱。

    他把恒温箱放在走廊的桌子上。打开。

    里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。

    通体透明。没有一丝杂色。在走廊的冷光灯下，散发着一种近乎完美的光泽。

    “这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说，“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。微管缺陷率小于0.1个/平方厘米。”

    王研究员颤抖着手，从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。

    他凑近那片晶圆。

    他摘下眼镜。拿出一块眼镜布，仔仔细细地擦了擦镜片。

    “我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑，“我一直以为，我们在第三代半导体材料上，至少落后国外十年。”

    他重新戴上眼镜。看着那片晶圆。

    “我以为我这辈子看不到了。”

    他抬起头，看着陈启，看着陶安然，看着周德明。

    “谢谢你们。”

    这位头发花白的老专家，竟然微微弯下腰，鞠了一躬。

    陈启赶紧上前一步，扶住他。

    “王老。使不得。”

    “当得起。”王研究员眼眶泛红，“你们这是在给中国的半导体产业开路啊！”

    沈副司长站在一旁。他没有说话。

    但他把这一切都看在了眼里。

    考察结束。

    沈副司长没有让随行人员跟着。他把陈启单独叫到了临时办公楼

    （本章未完，请点击下一页继续阅读）

『加入书签，方便阅读』