第440章 光波没有摩擦力 (第1/3页)

    四月中旬，吉省长光所。

    地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。

    玻璃窗内，一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。

    镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。

    每一个动作都慢得要命。

    因为这玩意儿不是普通镜头。

    它关系到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米制程上再迈一步。

    林希站在玻璃窗外，看着里面的进度。

    这时，江俊拿着一份资料册快步走了过来。

    “林经理。”

    他的声音比三年前稳了太多。

    三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥着女儿的病历。

    现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。

    “光刻机要升级到1.5微米制程，光有镜头不够。”

    江俊翻开工艺资料册，指着设计图上的对齐位。

    “1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”

    他手指敲了敲图纸。

    “也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级别的微小位移。”

    江俊合上资料，语气很沉。

    “三年前搞出来的1微米精度光栅尺，已经不够用了。”

    林希点了点头。

    他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死芯片制程的物理天堑。

    你连工作台挪了多少都量不准，还谈什么套刻？

    芯片不是靠热血喊出来的。

    每一道线，都得用精度咬出来。

    “跟我来。”

    江俊没多解释，转身就走。

    林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。

    屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。

    光学平台四周拉着黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。

    江俊走到一张光学平台前，手指搭在防静电黑布边缘，停了半秒。

    那动作不像揭布。

    更像是掀开自己三年心血的盖头。

    他一把拉开黑布。

    光学平台上，一台

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